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低压化学气相沉积MoSi_2涂层微观结构及氧化性能

吴恒 , 李贺军 , 王永杰 , 付前刚 , 魏建锋 , 王海鹏

材料科学与工艺

为了防止Mo合金的高温氧化,本研究采用低压化学气相沉积技术在Mo合金表面制备MoSi2抗氧化涂层,借助X射线衍射仪、扫描电镜及能谱仪等分析手段,对涂层的微观结构进行了研究,测试了涂层的抗氧化和抗热震性.结果表明:MoSi2涂层结构致密,仅有少量微裂纹存在,表现出良好的抗热震和抗氧化性能;经20次1300℃-室温循环热震实验后,涂层未出现开裂与脱落现象;涂层试样在1300℃氧化气氛下氧化180 h,失重率小于0.83%,分析揭示了涂层试样氧化失重的主要原因为氧扩散通过涂层与Mo基体发生反应,生成极易挥发的MoO、MoO2、MoO3,氧在涂层中的扩散速率决定了涂层的失重速率.

关键词: 低压化学气相沉积法 , MoSi2涂层 , 微观结构 , 抗氧化

Nb-Ti-Si合金表面辉光离子渗Mo/包埋渗Si制备MoSi2涂层的研究

曹正 , 田晓东 , 李宁 , 王利捷 , 吕娜

表面技术

目的:在Nb-Ti-Si合金表面制备MoSi2涂层。方法先进行辉光离子渗Mo,再进行包埋渗Si。分析温度对渗Mo层表面形貌、厚度、元素互扩散的影响,以及渗Si后涂层的表面形貌和结构。结果在1100°进行辉光离子渗Mo,渗Mo层与基体形成了显著的互扩散。对渗Mo层进行包埋渗Si后,所形成的涂层组织致密,具有多层结构,由外向内依次为MoSi2层、NbSi2层和Nb5 Si3层,在MoSi2和NbSi2层之间存在( Mo,Nb) Si2互扩散区。结论通过辉光离子渗/包埋渗的方法,可以在Nb-Ti-Si合金表面制备MoSi2涂层,且涂层与基体呈冶金结合,结合较好。

关键词: Nb-Ti-Si合金 , 辉光离子渗 , 包埋渗 , MoSi2涂层

二硅化钼涂层对碳化硅电热元件高温抗氧化性能的影响

苏向东 , 林蓉 , 郝维昌 , 王天民

稀有金属材料与工程

采用MoSi2粉末自烧结方法,在SiC电热元件表面制备一层致密的MoSi2高温抗氧化涂层,并对其高温抗氧化性进行测试.抗氧化试验在空气中1 500℃炉温下进行118 h和32次热循环,结果表明,带有MoSi2涂层的试样表面致密光洁,且试样抗氧化性能随MoSi2涂层厚度增加.SEM和EPMA显微分析表明,MoSi2涂层与SiC基体结合较好,没有起层和剥落,涂层中Mo分布均匀,损失约为20%.

关键词: 二硅化钼涂层 , 碳化硅电热元件 , 高温抗氧化

铝元素对MoSi2涂层抗氧化性能的影响

范华山 , 徐江

机械工程材料

采用双阴极等离子溅射技术在TC4合金表面制备了MoSi2和Mo(SiAl)2涂层,并在500℃的空气中进行了不同时间的等温氧化,研究了铝元素对MoSi2涂层抗氧化性能的影响.结果表明:两种涂层均由扩散层和沉积层组成,两者的厚度分别约为8,20 μm,涂层致密,并与基体紧密结合;随着氧化时间的延长,Mo(SiAl)2涂层的氧化质量增加缓慢,且明显小于MoSi2涂层的;MoSi2涂层在500℃下氧化5h后表面生成了板条状MoO3,氧化100 h后出现“PEST”现象,涂层表面出现大量裂纹;Mo(SiAl)2涂层氧化30 h后,表面生成了Al2O3、SiO2、MoO3,氧化100 h后表面完好且未出现明显的裂纹;铝元素的添加提高了MoSi2涂层的抗氧化性能.

关键词: MoSi2涂层 , 抗氧化性 , 铝元素

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